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SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面,提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm 探測光斑,實(shí)現(xiàn)百微米級探測器的絕對光譜響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試,豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計可擴(kuò)展多路光源,例如超連續(xù)白光激光器,皮秒脈沖激光器,半導(dǎo)體激光器,鹵素?zé)簦療舻龋瑵M足不同探測器測試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。

SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀功能:
■ 光譜響應(yīng)度光源選項(xiàng)
卓立漢光根據(jù)樣品光譜相應(yīng)范圍選擇適合的光源,如EQ 光源,氙燈光源,氙燈溴鎢燈復(fù)合光源。
EQ光源
特點(diǎn):
■ 光譜范圍寬:190-1700nm寬光譜范圍;特點(diǎn):
■ 光譜范圍寬:250-1700nm寬光譜范圍;特點(diǎn):
■ 光譜范圍:250-2500nm

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