在半導(dǎo)體光電器件研究領(lǐng)域，有一位學(xué)者始終秉持著對(duì)科研的熱忱與執(zhí)著，不斷探索技術(shù)邊界，推動(dòng)以CVD為核心技術(shù)的低維材料器件從實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，他就是廣西師范大學(xué)電子與信息工程學(xué)院/集成電路學(xué)院的劉林生副教授。近日，我們有幸與劉林生副教授展開(kāi)深入對(duì)話(huà)，聆聽(tīng)他分享科研經(jīng)歷、技術(shù)見(jiàn)解以及對(duì)行業(yè)未來(lái)的展望。

豐富履歷積淀，筑牢科研根基

科研之路從無(wú)捷徑，扎實(shí)的學(xué)術(shù)積淀與多元的實(shí)踐歷練，是劉林生副教授探索未知的 “底氣"。

劉林生副教授本碩博均畢業(yè)于蘭州大學(xué)，為后續(xù)的科研工作奠定了深厚的理論基礎(chǔ)。不僅如此，他還曾在法國(guó)國(guó)家科研中心（CNRS）、巴黎十一大 / 巴黎薩克雷大學(xué)（2024 年軟科 ARWU 世界排*第 12，2019 年 US News 世界排*第 30）、希臘國(guó)家研究與技術(shù)基金會(huì)（FORTH）、中科院物理所、中科院半導(dǎo)體所等國(guó)內(nèi)外著名科研院所與高校工作多年。

這些經(jīng)歷讓他接觸到了不同國(guó)家和地區(qū)在半導(dǎo)體光電器件領(lǐng)域的前沿技術(shù)與研究思路，也使其對(duì)行業(yè)發(fā)展有著更廣闊的視野和深刻的理解。如今，作為廣西師范大學(xué)的副教授、碩士生導(dǎo)師，劉林生副教授還身兼 IEEE 會(huì)員 / IEEE 光電子分會(huì)會(huì)員、中國(guó)光學(xué)工程學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員等多個(gè)學(xué)術(shù)職務(wù)，在國(guó)內(nèi)外著名期刊如 Nano Lett.、APL、《物理學(xué)報(bào)》等發(fā)表論文 50 余篇，他引 600 余次，在學(xué)術(shù)界具有一定的影響力。

聚焦 CVD 技術(shù)，破解低維材料制備難題

以CVD為核心破解低維材料制備難題，既斬獲多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)*，更在補(bǔ)齊技術(shù)短板上持續(xù)發(fā)力。

談及目前的研究方向，劉林生副教授介紹，他主要從事半導(dǎo)體光電器件方向研究，當(dāng)前重點(diǎn)圍繞低維光電材料的生長(zhǎng)、器件工藝及器件應(yīng)用展開(kāi)工作，涉及太赫茲光電導(dǎo)天線、雪崩光電二極管以及微型光譜儀芯片的研制。而在低維材料制備方面，化學(xué)氣相沉積法（CVD）是他團(tuán)隊(duì)的核心技術(shù)手段。
對(duì)于 CVD 法的核心原理，劉林生副教授用通俗的語(yǔ)言解釋道：“CVD 就是利用各種氣體攜帶我們需要的源，在高溫條件下反應(yīng)生成納米線、二維材料等所需物質(zhì)。同時(shí)，通過(guò)我們自己搭建的氣路控制系統(tǒng)和相應(yīng)的支架系統(tǒng)，在生長(zhǎng)低維材料的過(guò)程中還能加入生長(zhǎng)異質(zhì)結(jié)的結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的功能。"

選擇 CVD 法，并非偶然。劉林生副教授指出，與分子束外延（MBE）、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）等方法相比，CVD 法具有顯著優(yōu)勢(shì)。首先，價(jià)格便宜，這使得國(guó)內(nèi)外眾多實(shí)驗(yàn)室都能配備該系統(tǒng)，為科研普及提供了便利；其次，靈活性高，通過(guò)更換石英管，同一臺(tái) CVD 設(shè)備就能制作不同材料的器件。“像 MBE、MOCVD 這類(lèi)高*設(shè)備，加入某種源后若想更換新源，需要對(duì)腔體進(jìn)行清理，清理不當(dāng)甚至?xí)?dǎo)致設(shè)備報(bào)廢，所以通常設(shè)備固定后材料體系就固定了。但我們的 CVD 設(shè)備，既能生長(zhǎng)三五族、二六族材料，也能生長(zhǎng)四六族材料，還能將不同材料混合使用，大大擴(kuò)展了實(shí)驗(yàn)的可能性。" 此外，CVD 法還能實(shí)現(xiàn)低成本化，為材料商業(yè)化前的原型研究提供有力支持。目前，劉林生副教授團(tuán)隊(duì)已憑借該技術(shù)拿到多個(gè)專(zhuān)*，部分參數(shù)甚至接近高*設(shè)備水平。
當(dāng)然，CVD 法也并非完*無(wú)缺。不過(guò)，劉林生副教授及其團(tuán)隊(duì)正不斷攻關(guān)，致力于彌補(bǔ)其短板，進(jìn)一步提升該技術(shù)在低維材料制備中的性能。

▍相關(guān)專(zhuān)*清單 
1.名稱(chēng)：《一種硅基III-V族軸向異質(zhì)結(jié)垂直納米線陣列APD器件及生產(chǎn)工藝》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2021 1 0410344.X 
2.名稱(chēng)：《一種金屬納米顆粒制備裝置》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2020 2 0336560.5 
3.名稱(chēng)：《一種半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)納米線的生長(zhǎng)裝置》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2024 2 0006788.6 
4.名稱(chēng)：《一種半導(dǎo)體材料的高溫快速退火裝置》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2024 2 0250845.5 
5.名稱(chēng)：《一種太赫茲光電導(dǎo)天線支架裝置》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2024 2 0251198.X
6.名稱(chēng)：《一種改進(jìn)型的金銀合金納米顆粒制備裝置》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2021 2 0981031.5 
7.名稱(chēng)：《一種納米線多色近紅外光電探測(cè)器》，專(zhuān)*號(hào)：ZL 2021 2 0415521.9

依托先進(jìn)設(shè)備，加速科研成果轉(zhuǎn)化

科研的突破，離不開(kāi)先進(jìn)設(shè)備的 “助攻"。在劉林生團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室里，卓立漢光的檢測(cè)設(shè)備協(xié)同發(fā)力，為研究提供精準(zhǔn)支撐。

在科研過(guò)程中，先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備對(duì)于驗(yàn)證器件性能、優(yōu)化制備工藝至關(guān)重要。劉林生副教授表示，卓立漢光的相關(guān)設(shè)備為他們的研究提供了重要支持。目前，他們使用的卓立漢光系統(tǒng)包括變溫PL光譜系統(tǒng)和太陽(yáng)能電池外量子效率測(cè)試系統(tǒng)。

“這些系統(tǒng)能對(duì)我們生產(chǎn)的材料進(jìn)行表征，幫助我們了解材料的純度、結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵信息，為后續(xù)的器件研發(fā)和工藝優(yōu)化提供了精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)支撐，讓我們能更快速地推進(jìn)研究進(jìn)程，加速科研成果向?qū)嶋H應(yīng)用的轉(zhuǎn)化。" 劉林生副教授說(shuō)道。

展望應(yīng)用前景，指明產(chǎn)業(yè)化方向

憑借跨域科研經(jīng)歷，劉林生對(duì)低維材料器件的應(yīng)用前景有著獨(dú)到判斷。錨定兩大核心方向，全力推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化落地。

憑借多年的研究經(jīng)驗(yàn)以及在海外的工作經(jīng)歷，劉林生副教授對(duì)納米線器件及材料在太赫茲、類(lèi)腦計(jì)算等領(lǐng)域的應(yīng)用前景有著獨(dú)到的見(jiàn)解。

他介紹，團(tuán)隊(duì)目前主要聚焦兩大方向，首先是光電探測(cè)與光電器件。其中，太赫茲器件相關(guān)研究依托國(guó)家自然基金項(xiàng)目開(kāi)展，主要研發(fā)太赫茲光電導(dǎo)天線，用于產(chǎn)生和探測(cè)太赫茲波。“這一方向的研究已非常接近產(chǎn)業(yè)化，我們已安排學(xué)生推進(jìn)芯片產(chǎn)業(yè)化工作，準(zhǔn)備搭建太赫茲時(shí)域光譜儀。該光譜儀可應(yīng)用于大健康、生物醫(yī)療、物質(zhì)探測(cè)等領(lǐng)域，而且太赫茲波相比X射線更安全，市場(chǎng)潛力巨大，目前也已得到華為的關(guān)注。"

另一方向則是納米線、二維材料的生長(zhǎng)以及雪崩光電二極管探測(cè)器的研發(fā)，團(tuán)隊(duì)同樣拿到了包括發(fā)明專(zhuān)*在內(nèi)的多個(gè)專(zhuān)*，并在不斷推進(jìn)相關(guān)研究。劉林生副教授表示，太赫茲光電導(dǎo)天線所使用的材料通過(guò)分子束外延技術(shù)在中科院物理所生長(zhǎng)，而納米線、二維材料則可在團(tuán)隊(duì)改造的 CVD 系統(tǒng)中生長(zhǎng)，且已實(shí)現(xiàn)異質(zhì)結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)突破，為后續(xù)產(chǎn)業(yè)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

在他看來(lái)，太赫茲領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用有望率*實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化突破，尤其是太赫茲時(shí)域光譜儀在多個(gè)民生及工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，將為行業(yè)發(fā)展注入新的活力。

以赤誠(chéng)情懷，助力國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展

2017 年與卓立漢光結(jié)下了 “科研伙伴" 之緣。談及選擇的理由，他的回答既有 “理性考量"，更有 “情感溫度"。

作為卓立漢光的長(zhǎng)期用戶(hù)，劉林生副教授從 2017 年來(lái)到廣西師范大學(xué)后便開(kāi)始與卓立漢光合作，后續(xù)又陸續(xù)采購(gòu)了多臺(tái)設(shè)備。談及一直選擇卓立漢光光譜儀的原因，他提到了兩方面因素：一方面是實(shí)實(shí)在在的性?xún)r(jià)比，與國(guó)外設(shè)備相比，卓立漢光的設(shè)備價(jià)格更具優(yōu)勢(shì)，能在保證性能的前提下降低科研成本；另一方面則是出于對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的情懷，“我還是喜歡用國(guó)內(nèi)的設(shè)備，現(xiàn)在我們實(shí)驗(yàn)室購(gòu)買(mǎi)的很多設(shè)備都是國(guó)產(chǎn)化的，也希望能為國(guó)產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。"

同時(shí)，劉林生副教授也對(duì)卓立漢光未來(lái)的設(shè)備升級(jí)提出了期望。他表示，隨著國(guó)外對(duì)相關(guān)設(shè)備的禁運(yùn)和限制，發(fā)展國(guó)產(chǎn)光電設(shè)備已成為大勢(shì)所趨，卓立漢光在這一領(lǐng)域做得非常出色。“我希望未來(lái)卓立漢光能根據(jù)科研人員的個(gè)性化需求，提供設(shè)備搭建和定制化服務(wù)。不僅能為我們節(jié)省時(shí)間和精力，對(duì)國(guó)內(nèi)其他科研人員來(lái)說(shuō)也是一大福音。畢竟，科研的重大進(jìn)步往往伴隨著設(shè)備的升級(jí)，新的測(cè)試手段才能推動(dòng)重大突破的產(chǎn)生。"

從深耕 CVD 技術(shù)到推動(dòng)太赫茲器件產(chǎn)業(yè)化，從依托先進(jìn)設(shè)備加速科研進(jìn)程到支持國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展，劉林生副教授始終在半導(dǎo)體光電器件領(lǐng)域腳踏實(shí)地、不斷探索。相信在他及眾多科研工作者的努力下，我國(guó)在該領(lǐng)域的研究將不斷取得新突破，為行業(yè)發(fā)展創(chuàng)造更多可能。

【致卓立漢光的同行者】
感恩相伴，不負(fù)信賴(lài)！

【老師簡(jiǎn)介】

劉林生，廣西師范大學(xué)電子與信息工程學(xué)院/集成電路學(xué)院，廣西類(lèi)腦計(jì)算與智能芯片重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，廣西高校集成電路與微系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，副教授，碩士生導(dǎo)師，IEEE會(huì)員/IEEE光電子分會(huì)會(huì)員，中國(guó)光學(xué)工程學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員，中國(guó)電子學(xué)會(huì)會(huì)員，廣西電子學(xué)會(huì)專(zhuān)家委員會(huì)委員，廣西人工智能學(xué)會(huì)會(huì)員，本碩博畢業(yè)于蘭州大學(xué)，曾在法國(guó)國(guó)家科研中心（CNRS）、巴黎十一大/巴黎薩克雷大學(xué)（2024年軟科ARWU世界排*第12，2019年US News世界排*第30）、希臘國(guó)家研究與技術(shù)基金會(huì)（FORTH）、中科院物理所、中科院半導(dǎo)體所等國(guó)內(nèi)外著名機(jī)構(gòu)學(xué)習(xí)與工作多年，現(xiàn)從事太赫茲天線、低維光電器件和微型光譜儀及相關(guān)應(yīng)用等方面研究工作，在國(guó)內(nèi)外著名期刊如Nano Lett. , APL, 《物理學(xué)報(bào)》等發(fā)表論文50余篇，他引600余次。

主要研究方向：主要從事低維尺度下的納米光電材料生長(zhǎng)、光電器件制備與應(yīng)用研究。具體有：太赫茲輻射源/探測(cè)器制備（6G通訊、安全檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等的核心器件），低溫材料生長(zhǎng)及光電器件應(yīng)用（如微型光譜儀、光電探測(cè)器等）。